上海国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2021-02-02在本网站公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:2018年工业转型升级资金（部门预算）项目资金到位或资金来源落实情况:资金已落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容招标项目编号:0705-214020600209招标项目名称:清洗设备、湿法刻蚀设备项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	晶圆刷洗机	1套	晶圆刷洗，高效去除晶片正面、背面和斜面的颗粒和无划痕清洁
2	晶圆背面清洗设备	1套	利用化学药液清洗去除晶圆背面杂质、颗粒，防止制程之间的交叉污染
3	湿法化学清洗设备	1套	利用特定化学药液清洗晶圆表面，去除表面的金属沾污颗粒，表面杂质
4	湿法刻蚀减薄设备	1套	利用特殊的化学药液进行湿法腐蚀减薄晶圆，并配以合适的腐蚀液腐蚀硅片表面至特定的晶圆过渡层，清洗去除表面电荷，保持硅片表面的平整度

3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；2）投标人及投标货物的制造商近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉, （按附件6-3格式提供书面声明）；3）投标货物中的必须是全新机台，投标人必须在其投标文件中对投标货物作明确说明；4）投标的晶圆刷洗机应在3年内（2018年至今）具有至少5台向中国大陆境内12英寸半导体制造企业同类型设备的供货和安装调试经验，投标的晶圆背面清洗设备、湿法化学清洗设备和湿法刻蚀减薄设备应在3年内（2018年至今）各具有至少20台向中国大陆境内12英寸半导体制造企业同类型设备的供货和安装调试经验。以上设备运行情况良好，无质量和安全事故，无其他不良记录。须提供证明材料，证明材料包括：中标通知书、合同、用户证明或验收证书复印件（原件备查）；5）投标人或投标货物的制造商须在中国境内设有专业的直属售后服务团队（包括：设备、工艺工程师），能提供本地化的售后服务；6）投标人若为代理商，须获得并提供投标货物制造商出具的针对本项目的独家授权书及售后服务授权书；7）本项目不接受联合体投标；8）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.{wz_now）上完成有效注册（由于机电产品交易平台的注册审核需要一定时间，如投标人在决定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已经处于有效注册状态，以免因临近投标截止时间再来办理注册事宜而影响正常投标）.是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取招标文件领购开始时间:2021-02-02招标文件领购结束时间:2021-02-08是否在线售卖标书:否获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点：在上海国际招标有限公司网站(https://www.shabidding.com)注册并在线领购招标文件招标文件售价:￥1000/$1505、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:2021-03-02 09:45投标文件送达地点:中国上海延安西路358号美丽园大厦13楼上海国际招标有限公司1303会议室开标地点:中国上海延安西路358号美丽园大厦13楼上海国际招标有限公司1303会议室6、投标人在投标前应在本网站（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.{wz_now）完成注册及信息核验。7、联系方式招标人:上海芯物科技有限公司地址:上海市嘉定区皇庆路333号3号楼联系人:林韵联系方式:86-21-69510833*6603招标代理机构:上海国际招标有限公司地址:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼联系人:唐臻善、金皓晟联系方式:32173716、32173708，[email protected]8、汇款方式:招标代理机构开户银行(人民币):招标代理机构开户银行(美元):账号(人民币):账号(美元):